Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/О-75 Автор(ы) : Белов А. Н., Гаврилов С. А., Демидов Ю. А., Шевяков В. И. Заглавие : ОСобенности формирования маски пористого анодного оксида алюминия для плазменного локального травления кремния Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2011. - Т. 6, № 11-12. - С. 48-52: рис. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223 Примечания : Библиогр. : с. 52 (12 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Исследованы особенности формирования маски пористого оксида алюминия для нанопрофилирования кремния. Показано влияние микроморфологии на границе раздела в анодированной двухслойной структуре Al - Ti на характер локального травления кремния. Выявлена корреляция аспектного отношения пор оксида алюминия с геометрическими параметрами формируемых плазменным травлением в кремнии локальных углублений Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Белов, А. Н.; Гаврилов, С. А.; Демидов, Ю. А.; Шевяков, В. И.