Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/О-62 Автор(ы) : Громов Д. Г., Козьмин А. М., Поломошнов С. А., Шулятьев А. С., Шаманаев С. В. Заглавие : Оптимизация условий формирования тонких пленок ZnO для использования в интегральных МЭМС-устройствах Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 27-30: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 30 (17 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Представлены результаты исследований тонких пленок ZnO для использования в составе интегральных МЭМС-устройствах. Пленки ZnO:Ga получены в процессе магнетронного распыления соответствующей мишени в среде аргона без нагрева подложки. Показано, что удельное сопротивление и стабильность во времени пленок ZnO:Ga существенно зависит от их толщины, воздействия солнечного излучения, внешней окружающей среды. Комплекс доведенных исследований указывает на то, что ужиной нестабильности тонких пленок ZnO являются процессы генерации и залечивания кислородных вакансий, создающие донорные уровни в запрещенной зоне ZnO. Для формирования пленок ZnO с пьезоэлектрическими свойствами требуется осаждение в среде кислорода или последующий отжиг в аналогичной среде, а повышения стабильности пленок во времени можно достигнуть с помощью покрытия, защищающего от воздействия внешней газовой среды Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Громов, Д. Г.; Козьмин, А. М.; Поломошнов, С. А.; Шулятьев, А. С.; Шаманаев, С. В.