Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/И 35 Автор(ы) : Троян П. Е., Данилина Т. И., Гребнева Ю. Ю., Кулинич И. А. Заглавие : Изготовление МДМ-катодов с наноострийным нижним электродом Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 31-32: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 32 (2 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Предложены методы формирования наноострий на нижнем электроде МДМ-катода с помощью электронно-лучевой литографии и темплейтного шаблона. Получены структуры с наноостриями в виде пирамид и столбиков с плотностью 2-108 см-2. Для МДМ-катодов с наноострийным нижним электродом установлено возрастание эмиссионного тока на порядок по сравнению с катодом с гладким электродом Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Троян, П. Е.; Данилина, Т. И.; Гребнева, Ю. Ю.; Кулинич, И. А.