Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Ч-87 Автор(ы) : Чуйко О. В., Кузнецов А. Е. Заглавие : Динамические характеристики чувствительного элемента микроакселерометра с повышенным фактором демпфирования Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 38-40: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 40 (7 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Исследуются динамические характеристики чувствительного элемента (ЧЭ) заданной конструкции, обеспечивающей повышенное воздушное сопротивление. Возбуждение колебаний инерционной массы (ИМ) осуществляется с помощью пьезоэлемента, регистрация колебаний выполняется по отклонению лазерного луча от поверхности ИМ. Получены зависимости резонансной частоты и добротности ЧЭ от давления воздуха в диапазоне от 1 до 105 Па, а также зависимость добротности от размера воздушного зазора между ИМ и подложкой Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Кузнецов, А. Е.