Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/И 88 Автор(ы) : Чуйко О. В., Кузнецов А. Е. Заглавие : Исследование кремниевых наноструктур в качестве рН-чувствительных элементов Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 40-42: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 42 (5 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Исследованы pH-чувствительные элементы, выполненные на основе кремниевых наноструктур. Формирование наноструктур осуществлялось методом "top-down" ("сверху-вниз"). Нано-проволочные структуры характеризуются более высокой чувствительностью. Интегрированный элемент на основе двух нанопроволок p- и n-типов может быть использован в качестве датчика локального относительного изменения концентрации[Н+] Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Кузнецов, А. Е.