Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/П 84 Автор(ы) : Амеличев В. В., Гаврилов Р. О., Касаткин С. И., Резнев А. А., Решетников И. А., Сауров А. Н. Заглавие : Профилированный магниторезистивный микрочип биосенсорного устройства регистрации магнитных меток Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - С. 52-54: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 54 (5 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Разработана конструкция профилированного магниторезистивного микрочипа биосенсорного устройства регистрации магнитных меток, представляющая собой массив чувствительных элементов, размещенных на кремниевом кристалле. Показан способ организации выборки массива, позволяющий минимизировать необходимое число выводов микрочипа. Разработана сложносовмещенная технология, обеспечивающая формирование на одном кристалле тонких мембран, полупроводниковых активных элементов и тонкопленочных магниторезистивных наноструктур Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Амеличев, В. В.; Гаврилов, Р. О.; Касаткин, С. И.; Резнев, А. А.; Решетников, И. А.; Сауров, А. Н.