Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/И 88 Автор(ы) : Агеев О. А., Коноплев Б. Г., Поляков В. В., Светличный А. М., Смирнов В. А. Заглавие : Исследование режимов фотонно-стимулированной зондовой нанолитографии методом локального анодного окисления пленки титана Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 1. - С. 14-16: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 16 (6 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): анодное окисление--наноэлектроника--нанолитография--пленки --титан Доп.точки доступа: Агеев, О. А.; Коноплев, Б. Г.; Поляков, В. В.; Светличный, А. М.; Смирнов, В. А.