Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/О-62 Автор(ы) : Агеев О. А., Ильин О. И., Коломийцев А. С., Коноплев Б. Г., Рубашкина М. В., Смирнов В. А., Федотов А. А. Заглавие : Определение геометрических параметров массива вертикально ориентированных углеродных нанотрубок методом атомно-силовой микроскопии Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 3. - С. 9-13: табл., рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 13 (8 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Представлены результаты экспериментальных исследований геометрических параметров углеродных нанотрубок и плотности массива вертикально ориентированных углеродных нанотрубок (ВОУНТ) в контактном, полуконтактном и бесконтактном режимах атомно-силовой микроскопии (АСМ). Разработана экспресс-методика определения высоты массива ВОУНТ методом АСМ, с использованием которой определены значения максимальной и средней высоты нанотрубок в экспериментальном образце массива ВОУНТ, которые составили 1,98 мкм и 1,12 ± 0,45 мкм соответственно. В бесконтактном режиме АСМ определена плотность нанотрубок в экспериментальном образце массива ВОУНТ, равная 31 мкм-2. Полученные результаты могут быть использованы при разработке методов нанодиагностики, а также технологических процессов формирования элементов микро- и наноэлектроники на основе ВОУНТ Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Агеев, О. А.; Ильин, О. И.; Коломийцев, А. С.; Коноплев, Б. Г.; Рубашкина, М. В.; Смирнов, В. А.; Федотов, А. А.