Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/С 22 Автор(ы) : Саханский С. П. Заглавие : Модель управления формой при выращивании монокристаллов германия Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 6. - С. 2-5: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 5 (назв. 4) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): германий--модель--форма--монокристалл--выращивание Аннотация: Предложена модель формирования задания температуры на установке выращивания монокристаллов германия по способу Чохральского, которая позволяет вести управление формой выращиваемых кристаллов на участках прямого и обратного конуса |