Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/С 22
Автор(ы) : Саханский С. П.
Заглавие : Модель управления формой при выращивании монокристаллов германия
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 6. - С. 2-5: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 5 (назв. 4)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): германий--модель--форма--монокристалл--выращивание
Аннотация: Предложена модель формирования задания температуры на установке выращивания монокристаллов германия по способу Чохральского, которая позволяет вести управление формой выращиваемых кристаллов на участках прямого и обратного конуса