Вид документа : Шифр издания : 620.3/Д 20 Автор(ы) : Итальянцев А. Г., Шульга Ю. В., Фетисов Ю. К., Чашин Д. В. Заглавие : Датчик постоянного магнитного поля на основе пьезоэлектрического преобразователя и многовиткового контура с током Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 6. - С. 41-45: рис. Примечания : Библиогр.: с. 45 (3 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): цтс-керамика--сила ампера--структура биморфная--элемент пьезоэлектрический--датчик магнитного поля--контур многовитковый Аннотация: Описана новая конструкция магниточувствительной MEMS, принцип действия которой основан на комбинации прямого пьезоэлектрического эффекта и силы Ампера. Теоретически и экспериментально обоснованы физические и конструкционные принципы увеличения чувствительности таких структур к постоянным магнитным полям. Выведено каноническое выражение для чувствительности первичных преобразователей на основе изгибного пьезоэлемента и многовиткового контура с током на резонансной частоте преобразователя. Экспериментально показано, что чувствительность предлагаемых MEMS многократно превышает чувствительность ближайших аналогов и достигает 104 В/(Тл-А) Доп.точки доступа: Итальянцев, А. Г.; Шульга, Ю. В.; Фетисов, Ю. К.; Чашин, Д. В.