Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/И 35 Автор(ы) : Морозов О. В., Постников А. В., Амиров И. И., Кальнов В. А. Заглавие : Изготовление микроэлектромеханических устройств на основе технологии формирования изолированных блоков в пластине кремния Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 7. - С. 15-18: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 18 (24 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микромеханика--окисление кремния термическое--привод электростатический гребенчатый--drie Аннотация: Представлен новый способ изготовления микроэлектромеханических устройств на основе формирования изолированных блоков SiO2 в пластине Si. Технология изготовления включает процессы двустороннего глубокого анизотропного травления Si и глубокого его окисления для получения изолированных областей SiO2. Применимость предложенного способа показана на примере изготовления микроактюатора с электростатическим гребенчатым приводом Доп.точки доступа: Морозов, О. В.; Постников, А. В.; Амиров, И. И.; Кальнов, В. А.