Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/С 71 Автор(ы) : Аваков С. М., Агейченко А. С., Зуев В. П., Корнелюк А. И., Матюшков В. Е., Самохвалов В. К., Точицкий Я. И., Трапашко Г. А., Барышников Д. П., Русецкий В. А. Заглавие : Специализированное оптико-механическое и контрольно-измерительное оборудование для промышленного производства изделий микросистемотехники Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 7. - С. 7-14: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 14 (11 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микросистемотехника--формирование изображения--генератор изображений-- мультипликатор--контроль плоскостности--размер критический--совмещение рисунков Аннотация: Представлены предварительные результаты реализации научно-технической программы Союзного государства "Разработка и создание нового поколения микросистемотехники и унифицированных интегрированных систем двойного назначения на ее основе" в части создания специализированного оптико-механического и контрольно-измерительного оборудования для проведения фотолитографических и контрольных технологических операций в производстве изделий микросистемотехники Доп.точки доступа: Аваков, С. М.; Агейченко, А. С.; Зуев, В. П.; Корнелюк, А. И.; Матюшков, В. Е.; Самохвалов, В. К.; Точицкий, Я. И.; Трапашко, Г. А.; Барышников, Д. П.; Русецкий, В. А.