Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Г 83 Автор(ы) : Гридчин В. А., Лобач О.В. Заглавие : Калибровка термопар сенсора плотности теплового потока Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 9. - С. 22-25: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 25 (11 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): поток тепловой--сенсор--калибровка--метод конечных элементов--технология микроэлектронная Аннотация: Рассматривается калибровка термопар сенсора плотности теплового потока, содержащего профилированную кремниевую мембрану и термопары алюминий- поликремний, с помощью двух интегральных разогревающих резисторов, асимметрично расположенных относительно калибруемой термопары либо батареи термопар. Показана возможность определения линейного и квадратичного коэффициентов термоЭДС термопары и оценена эффективность предложенной конечно-элементной модели температурного поля чипа сенсора Доп.точки доступа: Лобач, О.В.