Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/О-75 Автор(ы) : Голоудин С. И., Лучинин В. В., Пасюта В. М., Криштаб М. Б., Панов М. Ф., Розанов В. В., Склизкова В. П., Кудрявцев В. В., Бакланов М. Р. Заглавие : Особенности строения и перспективы использования пленок Ленгмюра—Блоджетт жестко-цепного полиимида Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 9-15: табл., рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 15 (17 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): полиимид --ленгмюр—блоджетт --мембраны --герметизация пор Аннотация: Обсуждаются результаты исследования пленок Ленгмюра—Блоджетт преполимера полиимида — алкиламмонийной соли жесткоцепной полиамидокислоты и соответствующего полиимида, полученные методами эллипсометрии, атомно-силовой микроскопии, малоуглового рентгеновскогорассеяния и рентгеновской рефлектометрии. Показана эффективность использования наноразмерных полиимидных пленок для прецизионного снижения внутреннего напряжения в мембране из нитрида кремния, а также в качестве покрытий, стабилизирующих электретный заряд в структуре SiO—полиимид. Продемонстрирована высокая планаризующая способность рассматриваемых пленок Доп.точки доступа: Голоудин, С. И.; Лучинин, В. В.; Пасюта, В. М.; Криштаб, М. Б.; Панов, М. Ф.; Розанов, В. В.; Склизкова, В. П.; Кудрявцев, В. В.; Бакланов, М. Р.