Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Ф 79 Автор(ы) : Кушнир В. В., Рубашкина М. В., Светличный А. М., Спиридонов О. Б. Заглавие : Формирование субмикронных структур на поверхности пленок аморфного кремния наносекундным импульсным излучением лазерного генератора линии Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2012. - Т. 7, № 9-10. - С. 23-28: рис., табл. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223 Примечания : Библиогр.: с. 28 (23 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): наноструктуры--генератор лазерный--пленки аморфные кремниевые--мощность излучения Аннотация: Впервые представлены результаты экспериментального исследования влияния обработки лазерным лучом в форме узкой линии на формирование наноструктур на поверхности аморфных кремниевых пленок, нанесенных на диэлектрическую подложку. Обработка проводилась на длине волны 532 нм при постоянной скорости сканирования и различных значениях мощности излучения. Экспериментально определены режимы лазерной обработки, при которых на поверхности кремниевой пленки формируется массив субмикронных структур с максимальным аспектным отношением Доп.точки доступа: Кушнир, В. В.; Рубашкина, М. В.; Светличный, А. М.; Спиридонов, О. Б.