Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Я 96 Автор(ы) : Яшин К. Д., Осипович В. С., Божко Т. Г. Заглавие : Разработка МЭМС Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 1. - С. 28-34: фото. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микрозеркала--микровыключатели--микродатчики Доп.точки доступа: Осипович, В. С.; Божко, Т. Г.