Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Б 53 Автор(ы) : Волков П., Данильцев В., Лукьянов А., Хрыкин О., Шашкин В. Заглавие : Бесконтактный контроль температуры и толщины в технологии микро - и нанослоев Место публикации : Наноиндустрия. - 2008. - № 2. - С. 20 - 25: рис. Примечания : Библиогр.: с. 25 (13 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интерферометрия--тандемный интерферометр Доп.точки доступа: Волков, П.; Данильцев, В.; Лукьянов, А.; Хрыкин, О.; Шашкин, В.