Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/К 17 Автор(ы) : Каленов В. Е., Корляков А. В. Заглавие : Частотно-резонансный метод измерения механического воздействия с помощью нелинейного микромеханического преобразователя Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 2. - С. 15-19: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 19 (2 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): акселерометр микромеханический--мэмс--преобразователь микромеханический нелинейный--метод измерения частотно-резонансный Аннотация: Изложены основные принципы измерения механического воздействия частотно-резонансным методом с помощью нелинейного микромеханического преобразователя. Представлены условия, повышающие чувствительность нелинейного микромеханического преобразователя по перемещению и силе. Рассмотрен пример акселерометра на основе нелинейного преобразователя и проведена оптимизация его параметров Доп.точки доступа: Корляков, А. В.