Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/А 91 Автор(ы) : Асташенкова О. Н., Корляков А. В. Заглавие : Контроль физико-механических параметров тонких пленок Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 2. - С. 24-29: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 29 (7 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): мембраны--пленки тонкие--модуль юнга--напряжения механические--свойства тонких пленок--способы измерения механических напряжений Аннотация: Представлена методика измерения и расчета сжимающих и растягивающих внутренних механических напряжений и модуля Юнга в однослойных и композиционных мембранных структурах на основе тонких пленок различных материалов. Приведены результаты измерения механических напряжений и модуля Юнга пленок различных материалов Доп.точки доступа: Корляков, А. В.