Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/А 90 Автор(ы) : Аскерко А. Н., Бохов О. С., Лучинин В. В. Заглавие : Испытания и тестирование микроэлектромеханических компонентов и систем на их основе Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 2. - С. 49-54: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 54 (7 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): испытания мэмс--техника микросистемная--системы микроэлектромеханические--мст-компоненты Аннотация: Рассмотрены современное состояние рынка микросистемной техники, особенности комплектования аппаратуры МСТ-компонентов, метрологическое обеспечение и стандартизация. Обобщены вопросы испытаний, определения характеристик надежности электронной компьютерной базы микросистемной техники Доп.точки доступа: Бохов, О. С.; Лучинин, В. В.