Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Р 25 Автор(ы) : Раткин Л. С. Заглавие : Современные технологии проектирования, конструирования и производства нано-и микроэлектромеханических систем Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 3. - С. 2-5. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 5 (6 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): спектр широкий аспектных отношений --свч системы на кристалле с элементами мэмс на наногетероструктурах--системы виброакустические микромеханические --канал волоконно-оптический информационный --информатика квантовая --наногетероструктуры--нэмс--ран Аннотация: На состоявшейся 29 февраля 2012 г. научной сессии Отделения нанотехнологий и информационных технологий (ОНИТ) Российской академии наук (РАН) рассматривалась проблематика проектирования, конструирования и производства наноэлектромеханических и микроэлектромеханических систем (НЭМС и МЭМС). Особое внимание уделялось технологиям глубокого плазменного травления структур МЭМС с широким спектром аспектных отношений, созданию виброакустических микромеханических систем с волоконно-оптическим информационным каналом, квантовой информатике НЭМС, сверхвысокочастотным (СВЧ) системам на кристалле с элементами МЭМС на наногетероструктурах в арсениде галлия и технологическим основам создания микропреобразователей параметров движения на принципах переноса массы и заряда в электрохимических микросистемах