Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/С 58 Автор(ы) : Амеличев В. В., Аравин В. В., Белов А. Н., Красюков А. Ю., Резнев А. А., Сауров А. Н. Заглавие : Создание интегральных компонентов усиления магнитного сигнала в беспроводной МЭМС на основе магниторезистивных элементов Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 3. - С. 29-33: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 33 (6 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): мэмс беспроводная--поле магнитное--осаждение электрохимическое--пленка тонкая--элементы магниторезистивные--принцип построения--пермаллой Аннотация: Представлены результаты создания интегральных компонентов усиления магнитного сигнала на основе пленок пермаллоя. Рассмотрены способы повышения чувствительности магниторезистивных преобразователей и построения на их основе беспроводных МЭМС с магнитной связью для передачи информации на малые расстояния. Приведены результаты моделирования распределения магнитного поля в полосках пермаллоя. Представлены результаты формирования концентраторов магнитного поля толщиной 10...11 мкм с помощью электрохимического осаждения Доп.точки доступа: Амеличев, В. В.; Аравин, В. В.; Белов, А. Н.; Красюков, А. Ю.; Резнев, А. А.; Сауров, А. Н.