Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Г 83 Автор(ы) : Гридчин В. А., Чебанов М. А., Васильев В. Ю. Заглавие : Влияние термических деформаций на температурную стабильность характеристик кремниевых резонансных сенсоров давления Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 3. - С. 41-44: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 44 (10 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): сенсоры давления резонансные--деформация термическая--диоксид кремния--метод компенсации термических деформаций--температура Аннотация: Результаты моделирования тепловых деформаций влияние на частоту, которую были представлены характеристики резонансных давления датчика (РТС). Было показано, сильная зависимость температуры чувствительность частоты резонанса РТС на толщины пленок диоксида кремния, используемых в процессе производства датчиков. Было предложено термо компенсация метод резонансной элемента с фильм диоксида кремния обратной стороне мембраны Доп.точки доступа: Чебанов, М. А.; Васильев , В. Ю.