Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/С 58 Автор(ы) : Гурович Б. А., Приходько К. Е., Комаров Д. А., Талденков А. Н. Заглавие : Создание монокристальных нанопроводов из кремния с использованием облучения ионами малых энергий Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 3-4. - С. 49-53: рис. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223 Примечания : Библиогр.: с. 53 (5 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанопровода--кремний--монокристальность --изоляция электрическая--температура--облучение плазменное Аннотация: В работе предложен способ создания монокристальных кремниевых нанопроводов на поверхности кремниевой пластины путем формирования специально созданных протяженных структур с отрицательным углом наклона боковых стенок и последующего их окисления под действием облучения ионами кислорода малых энергий при температуре 400 °C. Форма и размеры структур подбирались таким образом, чтобы, во-первых, в процессе окисления центральная часть нанопровода не подвергалась модификации, сохраняя монокристальность и уровень легирования исходного кремния, а во-вторых, чтобы обеспечить электрическую изоляцию нанопровода от пластины. Исследована зависимость глубины окисления от температуры и длительности плазменного облучения, а также электрические свойства сформированного оксида Доп.точки доступа: Гурович, Б. А.; Приходько, К. Е.; Комаров, Д. А.; Талденков, А. Н.