Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/М 92 Автор(ы) : Мухуров Н. И. Заглавие : Электростатический микроактюатор с расширенными функциональными возможностями Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 5. - С. 27-30: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 30 (6 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроактюатор электростатический --функции управления и контроля--конструкция плоскопараллельная Аннотация: Предложена конструкция плоскопараллельного электростатического микроактюатора, выполняющего расширенный ряд независимых функций управления и контроля