Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/А 61 Автор(ы) : Амеличев В. А., Благов Е. В., Гаврилов Р. О. Заглавие : Технологические особенности создания беспроводной магниторезистивной МЭМС контроля параметров движения Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 7. - С. 13-15: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 15 (15 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): балка--мэмс магниторезистивная--способ беспроводной--технология интегральная--радиоканал--микромагнит--ускорение--пленка тонкая Аннотация: Представлены результаты экспериментальных работ по созданию совмещенной технологии изготовления магниторезистивной МЭМС контроля параметров движения. Приведены результаты исследования совместимости технологических процессов объемной обработки кремния и формирования тонкопленочных магниторезистивных структур на одном кристалле. Рассмотрены возможности передачи по радиоканалу информационного сигнала магниторезистивной МЭМС контроля параметров движения Доп.точки доступа: Благов, Е. В.; Гаврилов, Р. О.