Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Ч-82 Автор(ы) : Белогуров Е. А., Горох Г. Г., Таратын И. А., Хатько В. В. Заглавие : Чувствительный элемент кольцевого гироскопа на основе нанопористого анодного оксида алюминия Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 7. - С. 16-19: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 19 (3 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): оксид алюминия нанопористый анодный--моделирование микромеханического гироскопа--метод конечных элементов--гироскоп кольцевой Аннотация: Разработана технология изготовления чувствительного элемента кольцевого гироскопа из нанопористого анодного оксида алюминия. Проведено моделирование основных характеристик кольцевого гироскопа с таким чувствительным элементом. Резонансные частоты для чувствительного элемента представлены в виде функций от пористости и толщины спиц чувствительного элемента. Показано, что полученные выходные характеристики в некоторых случаях превосходят указанные параметры гироскопа с кремниевым чувствительным элементом Доп.точки доступа: Белогуров, Е. А.; Горох, Г. Г.; Таратын, И. А.; Хатько, В. В.