Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/П 42 Автор(ы) : Яшанин И. Б., Иевлев И. В., Кононов С. В., Азнабаев Р. Г., Харитонов В. А., Бойченко Д. В., Гребенкина А. В. Заглавие : Повышение чувствительности микропреобразователя абсолютного давления на основе расчетно-аналитического моделирования изгиба мембраны и положения тензорезисторов Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 9. - С. 7-11: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 11 (10 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): мембрана--тензорезистор--микропреобразователь абсолютного давления--микромеханика--мст--чувствительность--мост уинстона--тензорезистор поликремниевый --поликремниевая мембрана--мпад Аннотация: Описан опыт использования анализатора микросистем для минимизации несоответствий между расчетными и реально получаемыми значениями чувствительности типового тензорезистивного микропреобразователя абсолютного давления, выполненного на основе базовой технологии поверхностной микромеханики Доп.точки доступа: Яшанин, И. Б.; Иевлев, И. В.; Кононов, С. В.; Азнабаев, Р. Г.; Харитонов, В. А.; Бойченко, Д. В.; Гребенкина, А. В.