Вид документа : Шифр издания : 620.3/М 54 Автор(ы) : Авилов А. С., Волков В. В., Губин С. П., Дьяконова Ю. А., Ермакова М. А., Запорожец М. А., Кузин Ю. А., Марченкова М. А., Митюхляев В. А., Рустамова Е. Г., Сульянов С. Н., Тодуа П. А., Чекрыгина Д. И. Заглавие : Метрологическое обеспечение измерений размерных параметров наночастиц и тонких пленок методами малоугловой рентгеновской дифрактометрии Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 5-6. - С. 30-36: рис., табл. Примечания : Библиогр.: с. 36 (6 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): наночастицы--пленки тонкие--методы малоугловой рентгеновской дифрактометрии --дифрактометр--сеть нанотехнологическая--полупроводник Аннотация: Для обеспечения поверки и калибровки малоугловых рентгеновских дифрактометров, находящихся во многих организациях национальной нанотехнологической сети, разработаны новые, простые по исполнению технологические методы синтеза и изготовлены стандартные образцы (СО) на основе наночастиц металлического золота и полупроводниковой окиси цинка размером 2–10 нм. Получены также СО многослойных тонких пленок солей жирных кислот с периодом повторяемости 4.9 нм на твердых подложках. Развит комплекс методик расчета и перекрестной поверки размерных параметров методами дифракционной, высокоразрешающей просвечивающей и аналитической электронной микроскопии, электронографии, рентгенофазовым анализом и с использованием синхротронного излучения. Усовершенствованы методики и программы определения параметров дисперсности наночастиц по данным малоуглового рентгеновского рассеяния от неупорядоченных систем, основанные на устойчивых численных методах решения задачи поиска распределения по размерам. Разработаны программное обеспечение и методики калибровки угловой шкалы малоугловых дифрактометров как по данным рассеяния от стандартных образцов с наночастицами, так и по данным рефлектометрии от образцов многослойных пленок. Разработаны методики первичной обработки данных рентгеновского рассеяния, учитывающие особенности используемого оборудования с целью представления измерений и результатов в едином формате. Приведены примеры калибровки лабораторного малоуглового дифрактометра с помощью разработанных стандартов Доп.точки доступа: Авилов, А. С.; Волков, В. В.; Губин, С. П.; Дьяконова, Ю. А.; Ермакова, М. А.; Запорожец, М. А.; Кузин, Ю. А.; Марченкова, М. А.; Митюхляев, В. А.; Рустамова, Е. Г.; Сульянов, С. Н.; Тодуа, П. А.; Чекрыгина, Д. И.