Вид документа : Шифр издания : 620.3/Г 12 Автор(ы) : Гавриленко В. П., Тодуа П. А. Заглавие : Нанометрология – ключевое звено инфраструктуры нанотехнологий Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 5-6. - С. 47-55: рис. Примечания : Библиогр.: с. 55 (19 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанометрология --наночастиц--наноструктур--нанопокрытия--пленки--микроскопия атомно-силовая--методы спектроскопической эллипсометрии Аннотация: Размерные параметры наночастиц, наноструктур, нанопокрытий являются определяющими в характеризации объектов нанотехнологий. Одно из важнейших направлений нанометрологии – обеспечение единства измерений в нано- и субнанометровом диапазонах. Представлены новые типы кремниевых тест-объектов, обеспечивающих прослеживаемость размерных измерений к единице длины в системе СИ методами растровой и просвечивающей электронной микроскопии, атомно-силовой микроскопии. Приведены результаты измерений толщин пленки окисла кремния методами спектроскопической эллипсометрии и просвечивающей электронной микроскопии. Рассмотрены метрологические аспекты стандартизации в нанотехнологиях Доп.точки доступа: Тодуа, П. А.