Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/П 78 Автор(ы) : Гоц С. С., Бахтизин Р. З., Журавлев Г. И., Севницкий С. А. Заглавие : Проблемы метрологического обеспечения методики измерений структуры твердых образцов на атомно-силовом микроскопе с нанометровым разрешением Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 5-6. - С. 60-63: рис. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223 Примечания : Библиогр.: с. 63 (15 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Дескрипторы: ДИФРАКТОМЕТРЫ--МИКРОСКОП АТОМНО-СИЛОВОЙ--РАЗРЕШЕНИЕ НАНОМЕТРОВОЕ --ИНТЕРФЕРОМЕТРЫ ОПТИЧЕСКИЕ --НАНОМЕТР--КАЛИБРОВКА Аннотация: Рассмотрены проблемы метрологического обеспечения при создании методики измерения структуры твердых тел с нанометровым разрешением. Показано, что для калибровки атомно-силовых микроскопов в настоящее время используются эталонные меры длины, созданные на основе волновых методов. Применяемые в настоящее время оптические интерферометры, рентгеновские дифрактометры и другие волновые методы пока не способны обеспечить получение эталонных мер длины в 1 нм и менее. В связи с этим имеющиеся литературные данные о межатомных расстояниях твердых тел пока нельзя рассматривать как точные численные оценки истинных значений Доп.точки доступа: Гоц, С. С.; Бахтизин, Р. З.; Журавлев, Г. И.; Севницкий, С. А.