Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Н 16 Автор(ы) : Нагель М. Ю., Мартыненко Ю. В. Заглавие : Моделирование образования развитого рельефа осаждаемых пленок Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 7-8. - С. 72-77: рис. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223 Примечания : Библиогр.: с. 77 (13 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): пленки--методом монте-карло --установки термоядерного синтеза--нанорельеф осаждаемых пленок--температура--коэффициент диффузии по поверхности--нанорельеф--моделирование Аннотация: Методом Монте-Карло моделировался процесс роста пленок в результате объединения одиночных атомов, осаждаемых на подложку и участвующих в процессе диффузии по поверхности пленки, с использованием разработанного численного кода. При моделировании получены структуры типа столбов, «цветной капусты», аналогичные объектам, образующимся при создании технологических покрытий для специальных целей, а также в установках термоядерного синтеза. Выяснено, при каких значениях параметров, характеризующих процесс осаждения (поток атомов, содержание атомов примеси) и свойства подложки (температура, коэффициент диффузии по поверхности), возможно образование каждого типа нанорельефа осаждаемых пленок Доп.точки доступа: Мартыненко, Ю. В.