Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/М 73 Автор(ы) : Дубовой А. Н., Родионов Б. Н., Егоров С. Д., Мазур С. Н., Коротеев А. В., Степанов М. В., Хлюстов П. М. Заглавие : Многокластерная нанотехнологическая установка для исследования и изготовления наносхем и функциональных наносистем для систем энергообеспечения космических аппаратов Место публикации : Нанотехника. - 2013. - № 1. - С. 91-104: рис. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498 Примечания : Библиогр.: с. 104 (104 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): наносхемы--энергообеспечение--аппараты космические--установка многокластерная нанотехнологическая--мкнту--наноосаждения--модуль"суперкомпьютер"--наносистемы--технологии зондовые нанолокальные Аннотация: Мульти кластера Nano технический комплекс (MCNTC) с открытой архитектурой описывается. Проявляются структуру и возможности транспорта, технологического, аналитические модули MCNTC. В групповых MCNTC плазменных технологий очистки, седиментации, травления (ПК, ПХО, ПЭ, РИТ, DLC) и нанолокальной технология нанопротравливания и nanodeposition Зонд технологий (NLZPE, NLZCVD) реализуются. Модульная открытая архитектура, позволяет обеспечить гибкую автоматическую MCNTC управления и увеличить свои транспортные, технологические, аналитические возможности. Решение компонента MCNTC является модуль «Суперкомпьютер». Это позволяет организовать закрыл нанотехнологий линии дизайн-центр + nanofabric. Модуль «Суперкомпьютер» позволит моделировать и проектные микроструктуры, наноэлементов, nanocircuts, функциональные наносистемы, МЭМС, НЭМС, которые могут быть сделаны на MCNTC Доп.точки доступа: Дубовой, А. Н.; Родионов, Б. Н.; Егоров, С. Д.; Мазур, С. Н.; Коротеев, А. В.; Степанов, М. В.; Хлюстов, П. М.