Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 539.234/Т 70 Автор(ы) : Троицкий А. А., Березин В. М., Лукашев В. С. Заглавие : Электрические и оптические свойства углеродных пленок, осаждаемых электроннолучевым методом Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 10. - С. 15-19. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 19 (11 назв.) УДК : 539.234 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): графен--углерод--электронно-лучевое распыление--углеродные пленки--тонкие пленки--прозрачность Аннотация: Методом распыления электронным лучом в вакууме были получены тонкие углеродные пленки (толщиной до 30 нм) на нагретой стеклянной подложке. Было измерено удельное поверхностное сопротивление пленок и их коэффициент пропускания (при l= 560 нм), найдены зависимости от толщины пленки. Проведен анализ результатов и сравнение с другими работами Доп.точки доступа: Березин, В. М.; Лукашев, В. С.