Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 537.9:621.793/К 61 Автор(ы) : Колпаков А. Я., Поплавский А. И., Галкина М. Е., Беляева А. О., Герус Ж. В. Заглавие : Влияние отжига в вакууме на внутренние напряжения в углеродных покрытиях, сформированных при различной ориентации подложки относительно оси потока импульсной углеродной плазмы Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 10. - С. 25-28. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 28 (10 назв.) УДК : 537.9:621.793 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): внутренние напряжения--отжиг--аморфные углеродные --дефекты--алмазоподобные покрытия Аннотация: Исследовано влияние вакуумного отжига на значение внутренних напряжений в аморфных углеродных алмазоподобных покрытиях двух типов, полученных импульсным вакуумно-дуговым методом при различной ориентации подложки относительно оси потока углеродной плазмы (DLC-I, DLC-II). Полученные результаты могут быть использованы при выборе режимов термообработки этих покрытий в целях снижения внутренних напряжений, что позволит расширить область применения DLC покрытий в микромеханике и МЭМС Доп.точки доступа: Поплавский, А. И.; Галкина, М. Е.; Беляева, А. О.; Герус, Ж. В.