Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Мухуров Н. И., Ефремов Г. И., Жвавый С. П.
Заглавие : Электростатические микрокоммутаторы. Часть 1. Плоскопараллельные включающие микрокоммутаторы
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 10. - С. 42-48. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 48 (14 назв.)
УДК : 621.382.049.77 + 531:546.621-31
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): электростатические включающие микрокоммутаторы--плоскопараллельная конструкция--формулы расчета основных параметров
Аннотация: Рассмотрены теоретические основы и проведены расчеты параметров электростатических включающих микрокоммутаторов плоскопараллельной конструкции. Применена методика расчета с учетом равенства активных электростатических и реактивных механических сил с разделением в рабочем цикле параметров на постоянные (конструктивная константа) и переменные (базовая функция) составляющие. Получены формулы эффективного вычисления основных параметров

Доп.точки доступа:
Ефремов, Г. И.; Жвавый, С. П.