Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 53.06:661.55/А 13 Автор(ы) : Абдуллаев Д. А., Зайцев А. А., Кельм Е. А. Заглавие : Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния относительно оксида кремния Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 2. - С. 17-19. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 17 (3 назв.) УДК : 53.06:661.55 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): плазохимическое травление (пхт)--селективное травление--нитрид кремния--оксид кремния--пассивационные слои--интегральная микросхема (имс) Аннотация: Представлены результаты серии экспериментов по определению параметров селективного плазмохимического травления нитрида кремния относительно оксида кремния Доп.точки доступа: Зайцев, А. А.; Кельм, Е. А.