Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Драгунов В. П., Доржиев В. Ю. Заглавие : Трехэлектродная двухконденсаторная МЭМС со встроенным зарядом Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 2. - С. 33-38. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 38 (14 назв.) УДК : 621.3.049.77.002.5 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): электростатический преобразователь энергии--встроенный заряд--извлечение энергии из окружающей среды--микромощный генератор Аннотация: Представлен анализ особенностей функционирования трехэлектродной двухконденсаторной МЭМС со встроенным зарядом, преобразующей энергию механических колебаний в электрическую. Анализ проводился с учетом взаимного влияния электрических и механических сил. Получены аналитические выражения, позволяющие оценить предельные параметры и рассчитать основные характеристики системы при гармоническом и ступенчатом характере вынуждающей силы. Показано, что такие МЭМС при возбуждении низкочастотными колебаниями могут развивать удельную мощность порядка 10 мкВт/см 2 Доп.точки доступа: Доржиев, В. Ю.