Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 531.76/В 14 Автор(ы) : Бабаевский П. Г., Жукова С. А., Обижаев Д. Ю., Гринькин Е. А., Турков В. Е., Резниченко Г. М., Рискин Д. Д., Бычкова Ю. А. Заглавие : Вакуумплотное матричное корпусирование сенсорных микроэлектромеханических систем (анадитический обзор) Часть 1. Процессы соединения и разрезания пластин, локальная герметизация (вакуумное капсулирование) чувствительных элементов сенсорных микроэлектромеханических систем Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 3. - С. 3-12. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 12 (18 назв.) УДК : 531.76 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): сенсорные мэмс--чувствительные элементы--корпусирование на уровне пластин--соединение пластин--разрезание--вакуумное капсулирование Аннотация: Данный обзор посвящен обобщенному анализу способов и проблем вакуумплотного корпусирования сенсорных МЭМС, в первую очередь, соединения элементов корпусов и подложек, их разделения, формирования электрических выводов, контактов и соединений, обеспечения, сохранения и контроля вакуума в рабочих полостях. Первая часть обзора посвящена обобщенному анализу особенностей и возможностей наиболее эффективных процессов соединения кремниевых пластин между собой и с пластинами из других материалов, разрезания пластин и вакуумного капсулирования МЭМ ЧЭ в рабочих полостях. Анализ показывает, что наибольшие возможности при производстве вакуумплотных сенсорных МЭМС обеспечивает использование металлических соединительных слоев, в первую очередь, из эвтектических сплавов золота и низкотемпературных припоев Доп.точки доступа: Бабаевский, П. Г.; Жукова, С. А.; Обижаев, Д. Ю.; Гринькин, Е. А.; Турков, В. Е.; Резниченко, Г. М.; Рискин, Д. Д.; Бычкова, Ю. А.