Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 537.534.2:679.826/П 41 Автор(ы) : Побойкина Н. В. Заглавие : Использование алмаза в качестве теплоотводяшего элемента: методы и устройства вырашивания алмазных пленок и пластин Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 3. - С. 23-27. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 27 (17 назв.) УДК : 537.534.2:679.826 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): поликристаллические алмазные пленки--cvd-метод--пластины Аннотация: Приводится краткий обзор организаций, занимающихся в России выращиванием поликристаллических алмазных пленок. Рассмотрены наиболее распространенные в мире конструкции СВЧ плазменных технологических установок