Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.382.049.77/К 65 Автор(ы) : Амеличев В. В., Генералов С. С., Якухина А. В., Шаманаев С. В., Платонов В. В. Заглавие : Конструкция и технология изготовления матрицы силовых микроэлектромеханических ключей Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 3. - С. 28-32. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 32 (8 назв.) УДК : 621.382.049.77 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): кремниевая технология--микромеханический элемент--матрица--мэмс-ключ--металлическая плата--низкоомные электроды--силовая электроника Аннотация: Представлены конструкция и технология изготовления матрицы силовых микроэлектромеханических ключей. Рассмотрены основные конструктивные и технологические особенности создания кристалла МЭМС-ключа с электростатическим способом управления замыканием контактной группы. Определены перспективы применения матрицы силовых микроэлектромеханических ключей для коммутации постоянного и низкочастотного переменного тока в приборах средней мощности Доп.точки доступа: Амеличев, В. В.; Генералов, С. С.; Якухина, А. В.; Шаманаев, С. В.; Платонов, В. В.