Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 535.231.6+621.382/О-75 Автор(ы) : Жукова С. А., Обижаев Д. Ю., Турков В. Е., Рискин Д. Д., Кудрявцев П. Н., Четверов Ю. С. Заглавие : Особенности технологии изготовления высокочувствительных неохлаждаемых микроболометрических матриц Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 5. - С. 41-47: граф., табл., рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 47 (4 назв.) УДК : 535.231.6+621.382 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): неохлаждаемая микроболометрическая матрица--температурный коэффициент сопротивления--микромостиковая структура-- нитрид кремния--оксид ванадия-- поглощение инфракрасного излучения--тепловая постоянная времени Аннотация: Представлены результаты комплексных исследований основных характеристик микромостиковых структур, а также их зависимость от режимов изготовления и конструктивных особенностей. Изготовленные микромостиковые структуры обеспечивают оптическую плотность полосы поглощения ИК-излучения 1000 см -1 на уровне примерно 0,5, температурный коэффициент сопротивления термочувствительного слоя 1,7 %, тепловую постоянную времени в диапазоне 11,9...12,6 мс Доп.точки доступа: Жукова, С. А.; Обижаев, Д. Ю.; Турков, В. Е.; Рискин, Д. Д.; Кудрявцев, П. Н.; Четверов, Ю. С.