Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 623.7/Ф 15 Автор(ы) : Фадеев М. Заглавие : Решения для высококачественного анализа микро- и наноструктур Место публикации : Наноиндустрия. - 2014. - № 1(47). - С. 26-32. - ISSN 1993-8578. - ISSN 1993-8578 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): пробоподготовка--просвечивающий--электронный микроскоп--сканирующий электронный микроскоп Аннотация: Необходимым условием для качественного анализа микро- и наноструктур является правильная подготовка образцов. Проблема актуальна во многих высокотехнологичных областях: в полупроводниковом производстве, при изготовлении МЭМС и в научных исследованиях.