Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 623.7/В 88 Автор(ы) : Ву Ш. Заглавие : Сканирующая микроволновая микроскопия: уникальный метод измерений в нанодиапазоне Место публикации : Наноиндустрия. - 2014. - № 3(49). - С. 34-39: рис. - ISSN 1993-8578. - ISSN 1993-8578 Примечания : Библиогр.: с. 39 (7 назв.) ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): атомно-силовая микроскопия--измерение Аннотация: Компания Agilent Technologies разработала новый измерительный метод – сканирующую микроволновую микроскопию (СММ), которая уже удостоена ряда престижных наград. СММ объединяет широкие возможности измерений электрических величин микроволновым векторным анализатором цепей (ВАЦ) с наноразмерным пространственным разрешением атомно-силового микроскопа (АСМ). Этот метод может эффективно применяться при проведении разнообразных исследовательских работ.