Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Л 17 Автор(ы) : Комленок М. С., Пименов С. М., Кононенко В. В., Конов В. И., Шайбе Х. Й. Заглавие : Лазерное микроструктурирование поверхности сверхтвердых аморфных углеродных пленок Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 3. - С. 48-53: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 53 (18 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): углеродные пленки--поверхность--лазерное излучение Доп.точки доступа: Комленок, М. С.; Пименов, С. М.; Кононенко, В. В.; Конов, В. И.; Шайбе, Х. Й.