Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Т 19 Автор(ы) : Тарнавский А. Г., Анищик В. С., Тарнавский А. Г. Заглавие : Влияние защитных масок при отжиге кремниевой пластины на формирование наноразмерных примесей фосфора Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 3. - С. 57-65: граф. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 65 (15 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): моделирование--проводимость--защитные маски--примеси фосфора Доп.точки доступа: Анищик, В. С.; Тарнавский, А. Г.