Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/К 16 Автор(ы) : Какурин ю. Б., Захаров А. Г., Котов В. Н. Заглавие : Моделирование массопереноса в неоднородных полупроводниковых структурах Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 6. - С. 22-25 (12 назв.): рис., табл. Примечания : Библиогр.: с. 25 (12 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): диффузия--дислокационный кремний Доп.точки доступа: Захаров, А. Г.; Котов, В. Н.