Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/С 72 Автор(ы) : Спирин В. Г. Заглавие : Сопротивление электродов тонкопленочного резистора Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 7. - С. 19-24: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 24 (5 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): сопротивление электродов тонкопленочного резистора--математическая модель