Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Д 69 Автор(ы) : Дорошевич В.К. Заглавие : Рекомендации к построению и содержанию нормативной документации предприятий по статистическому контролю и регулированию технологических процессов микросхем Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 9. - С. 21-22. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 22 (2 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нормативная документация--статистический контроль и регулирование--технологический процесс--микросхема