Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/К 19 Автор(ы) : Канашевич Г. В. Заглавие : Превращения в поверхностном слое оптического силикатного стекла и фотопластин из силикатного стекла от действия низкоэнергетического электронного потока Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 10. - С. 28-30: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 30 (6 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): силикатное оптическое стекло--поверхностный слой--низкоэнергетический электронный поток--фотопластинка--микрорельеф